功率二極管與功率晶體管是現(xiàn)代電力電子系統(tǒng)的核心元件,廣泛應(yīng)用于工業(yè)控制、新能源轉(zhuǎn)換、電動(dòng)汽車及智能電網(wǎng)等領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)外在功率半導(dǎo)體器件的研究與試驗(yàn)發(fā)展方面取得了顯著進(jìn)展,主要體現(xiàn)在材料創(chuàng)新、結(jié)構(gòu)優(yōu)化及工藝提升等方面。
一、功率二極管的研究現(xiàn)狀
- 國(guó)內(nèi)研究:國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)與企業(yè)(如中科院、華為、中車時(shí)代等)重點(diǎn)推進(jìn)硅基快恢復(fù)二極管(FRD)和肖特基二極管(SBD)的性能優(yōu)化,通過(guò)超結(jié)技術(shù)和離子注入工藝降低導(dǎo)通損耗與反向恢復(fù)時(shí)間。在碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)寬禁帶材料方面,已實(shí)現(xiàn)6500V高壓SiC二極管的小批量生產(chǎn),并在光伏逆變器和軌道交通中開(kāi)展試驗(yàn)應(yīng)用。
- 國(guó)外研究:歐美及日本企業(yè)(如英飛凌、意法半導(dǎo)體、三菱電機(jī))主導(dǎo)了高性能功率二極管的研發(fā)。SiC和GaN二極管已實(shí)現(xiàn)商業(yè)化,例如1700V SiC SBD在新能源領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。國(guó)外研究聚焦于提升二極管的溫度穩(wěn)定性與可靠性,并通過(guò)納米級(jí)溝槽結(jié)構(gòu)進(jìn)一步減小開(kāi)關(guān)損耗。
二、功率晶體管的研究進(jìn)展
- 國(guó)內(nèi)研究:國(guó)內(nèi)在絕緣柵雙極晶體管(IGBT)領(lǐng)域取得突破,例如中車時(shí)代開(kāi)發(fā)的6500V高壓IGBT模塊已用于高鐵牽引系統(tǒng)。針對(duì)SiC MOSFET和GaN HEMT,國(guó)內(nèi)高校(如清華大學(xué)、浙江大學(xué))與企業(yè)合作,致力于解決柵氧可靠性及動(dòng)態(tài)特性優(yōu)化問(wèn)題,部分產(chǎn)品已進(jìn)入試驗(yàn)測(cè)試階段。
- 國(guó)外研究:國(guó)外企業(yè)在IGBT與寬禁帶晶體管技術(shù)上保持領(lǐng)先。英飛凌、富士電機(jī)等推出了第七代IGBT,通過(guò)微溝槽技術(shù)提升功率密度。在SiC MOSFET方面,科銳(Cree)和羅姆(ROHM)實(shí)現(xiàn)了低導(dǎo)通電阻與高頻特性結(jié)合,用于電動(dòng)汽車電驅(qū)系統(tǒng)。GaN晶體管則重點(diǎn)突破高頻應(yīng)用瓶頸,如氮化鎵系統(tǒng)(GaN Systems)開(kāi)發(fā)的650V器件已用于數(shù)據(jù)中心電源。
三、發(fā)展趨勢(shì)與挑戰(zhàn)
未來(lái)研究將集中于寬禁帶材料的全面應(yīng)用、集成化模塊設(shè)計(jì)以及智能驅(qū)動(dòng)技術(shù)。國(guó)內(nèi)外均面臨成本控制、熱管理及長(zhǎng)期可靠性的挑戰(zhàn),需通過(guò)跨學(xué)科合作推動(dòng)試驗(yàn)發(fā)展與產(chǎn)業(yè)化。功率半導(dǎo)體器件的創(chuàng)新將持續(xù)驅(qū)動(dòng)能源效率提升與低碳技術(shù)發(fā)展。